半導体業界向け事業
半導体製造装置および当該装置に搭載される機器向けの各種シール製品を提供しています。
磁性流体シール、溶接金属ベローズ、ロータリージョイント、高機能Oリングなどをラインアップし、世界各国の半導体製造装置メーカーおよび関連機器メーカーに幅広く供給しています。
これら多様なシール製品をすべて自社グループ内で内製化できる点は、当社の大きな強みであり、同様の体制を有する企業は世界でも当社グループのみ。この強みを最大限に活かし、複数のシール技術を融合させた独自のハイブリッドシールを開発・提案することで、装置の高性能化およびコンパクト化に貢献し、お客様の付加価値向上を支援しています。
半導体、先端産業
半導体・先端産業分野において求められる「低発塵」「低摩擦」「耐熱性」「耐プラズマ性」といった高度な要求特性に応えるため、磁性流体を構成するベースオイル、磁性微粒子、界面活性剤のすべてをグループ会社にて一貫して開発・製造しています。
これにより、優れた耐熱性および低アウトガス特性を実現し、安定した性能を提供しています。
溶接金属ベローズは、原子力、航空宇宙、ケミカルプラントといった高信頼性が要求される分野で培った技術と豊富な実績をもとに、高品質かつ高信頼性の製品を提供しています。
また、ロータリージョイントは、メカニカルシール分野におけるトップメーカーとしてのノウハウを活かし、高性能かつ高信頼性の製品を展開しています。さらに、独自の表面テクスチャー技術を採用することで、低トルクかつ超低リーク性能を実現した製品の提案も可能です。
高機能Oリングについては、ノンフィラー仕様とすることで低発塵性を確保し、優れた耐熱性および耐プラズマ性を兼ね備えた耐プラズマ用OリングKALREZ®および半導体用Oリング「スペリア」をラインアップしています。
今後も、グループ一体での一貫開発体制を強みとして、高度なニーズに応える製品・技術の提供に努めていきます。
主要製品
※NOK Group株式会社製品情報にリンクします
※KALREZはDuPont de Nemours, Inc.の登録商標です。
※スペリアはイーグル工業株式会社の登録商標です。
